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 高纯石墨烧结盘具有许多明显优势,在多个工业范畴发挥着重要作用,以下从特性、使用场景、制备工艺及外表处理等方面打开介绍:
特性
    高纯度与高安稳性:碳含量超过99.99%,在2000℃以上仍能保持结构安稳,热膨胀系数低至4.3×10⁻⁶/K,保证高温环境下尺寸精度。
    卓越导热与导电性:导热系数高达120-195W/(m·K),导电性比非金属矿高百倍,适用于需求高效热传导或电学功能的场景。
    耐腐蚀与抗氧化:常温下耐酸碱腐蚀,高温抗氧化功能经过外表涂层(如碳化硅)可进一步提高,延长使用寿命。
    自润滑与低摩擦:层状结构赋予其自润滑特性,摩擦系数低至0.05-0.1,削减磨损并降低能耗。
    高精度加工性:可加工至平面度<0.1μm,满意12英寸晶圆加工需求,适用于半导体等精密制作范畴。
使用场景
    半导体制作:作为晶圆加工基板,支撑3nm芯片制作,经过梯度烧结技能优化层间应力,提高弯曲强度至450MPa。
    高温烧结与热处理:用于金属熔融浇铸、陶瓷烧结等工艺,承受高温无变形,保证产品一致性。
    航空航天:使用于航空发动机叶片制作,在1600℃环境下寿命延长400小时,满意极点工况需求。
    新能源范畴:适用于电池资料烧结,其高纯度与化学安稳性可防止杂质引进,提高电池功能。
制备工艺
    原料选择与提纯:选用天然石墨或人造石墨,经过浮选、碱酸法、氢氟酸法等工艺将碳含量提纯至99.99%以上。
    高温烧结:在2000℃以上真空或慵懒气氛中烧结,构成高度有序的晶须结构,增强机械强度与热安稳性。
    脱碳处理:在高温无氧环境中去除残留杂质,进一步提高纯度与化学安稳性。
外表处理
    碳化硅涂层:构成致密、耐磨损、高耐腐蚀的涂层,延长使用寿命并实现高纯度外表结构。
    镀层与化学处理:增加耐磨性、防腐性,提高在高温高压环境下的安稳性。

高纯石墨烧结盘