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单晶石墨热场的中心功能
单晶石墨热场是单晶硅成长设备中的中心热办理系统，它通过电能转化为热能，实现硅料熔融及晶体成长温度的精准操控，对单晶硅的质量、成品率和出产功率具有决定性影响。
高温熔融：在1414℃以上稳定熔化硅料，并维持单晶成长所需的温度梯度，确保晶体结构完整性。
热场均匀性：使用石墨的高导热性实现热量均匀分布，下降晶体缺陷率，进步单晶硅的质量。
污染防控：高纯度石墨资料可削减熔硅污染，满足半导体级硅资料对纯度的严格要求。