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单晶炉石墨热场的技能开展趋势和应用范畴
技能开展趋势
大尺寸化:支撑36英寸以上大直径硅棒出产,单炉投料量突破3000kg,提高产能。
工艺优化:选用数控加工技能实现石墨件精度±0.05mm,削减热场装配应力,提高热场稳定性。
材料升级:等静压石墨成为干流材料,其高导热性和高纯度特性进一步满足半导体制作需求。
单晶石墨热场首要应用于光伏行业,是单晶硅生长设备的核心部件。它直接影响单晶棒的成品率,对光伏工业的成本控制和产能开释具有关键作用。此外,跟着半导体制作技能的快速开展,单晶石墨热场在半导体范畴的应用也逐步拓展。

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