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多晶炉石墨热场的运用温度规模一般为2000℃至3000℃,中心工艺温度集中在2600℃至2800℃,具体分析如下:
一、温度规模的中心依据
石墨化工艺需求
    多晶炉石墨热场的中心功能是完成碳素资料的石墨化转变,这一过程需在2000℃以上进行。例如,碳纤维石墨化处理需经过高温(2700℃以上)促进纤维结构转化为类石墨结构;石墨提纯则需加热至2700℃以上,利用石墨与杂质熔沸点差异去除杂质。
设备设计极限
    高温石墨化炉等专用设备清晰支撑2800℃至3000℃的高温环境。例如,石墨化炉选用电阻加热(石墨发热体)或感应加热技能,最高温度可达3000℃,且能在2600℃至2800℃下持续运转50至100小时,以消除资料内应力并提高结晶度。
二、温度规模的细分场景
低温阶段(<1000℃)
    主要用于去除蒸发分(如水分、残留有机物),为后续高温处理奠定基础。
中温阶段(1000℃至2000℃)
    碳结构初步有序化,但尚未构成高度有序的石墨晶体结构。
高温阶段(>2000℃)
    石墨晶体生长加速,构成高结晶度资料。例如,在2600℃至2800℃下,碳资猜中的杂质充沛蒸发,石墨晶体结构趋于完善,满足多晶硅生产对资料纯度和结晶度的要求。
三、温度操控的技能支撑
加热方式
    选用电阻加热(石墨发热体)或感应加热技能,经过精确操控电流或磁场强度完成温度精准调节。例如,感应加热器集成炉体、真空系统等多部件,可有效完成2700℃以上的高温环境。
保护气氛
    在真空或惰性气体(如氩气)环境中运转,按捺氧化反应并去除杂质。
隔热系统
    选用碳毡等低热导率资料构建隔热层,削减热量流失并提高温度均匀性。例如,高温石墨化炉经过多层石墨毡或碳纤维复合资料构成隔热系统,热反射率≥90%,可下降能耗20%至30%。

多晶炉石墨热场