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什么是单晶炉热场结构?

作者:http://www.dgshimozhipin.com 发布时间:2023-09-25 17:13:47

       在太阳能光伏作业,的好坏直接关系到单晶硅的质量,合格的热场可以生长出高质量的单晶,因而发明超卓的热场条件,在直拉单晶工艺上有非常重要的要素。石墨是单晶生长的载体,石墨在直拉单晶生长炉中以高纯石墨和等静压石墨加工件为主。
    依据实际情况的需求,热场的巨细依据石英坩埚的直径巨细来区别的,目前我国热场从φ12"~φ28"都有,一般情况下φ18"~φ22"居多。
    咱们在这里所讲的单晶炉的热系统便是所谓的热场,热场一般包括压环、保温盖、上中下保温罩、(三瓣式)石墨坩埚、坩埚托杆、坩埚托盘、电极、加热器、导流筒、石墨螺栓,未来防止漏硅,炉底、金属电极、托杆都设置了保护板和保护套。
1、加热器
    加热器是热场中很重要的部件,是直接发热体,温度较高的时分可以抵达1600度以上。常见的加热器有三种形状,筒状、杯状、螺旋状。一般情况下,加热器选用的高纯石墨加工。
2、石墨电极
     石墨电极的作用平稳固定加热器并通过他岁加热器运送电流。因而在电极要厚重,强健耐用、表面要光滑平稳,确保超卓的接触面,通电时不打火,石墨电极也是有高纯石墨加工的。
3、石墨坩埚、石墨托杆、石墨托盘
    坩埚托杆、坩埚和托盘一同构成了石墨坩埚的支撑体,要求和下轴结合强健,对中性超卓不才轴进行滚动时,托杆及托盘的摆渡小于等于0.5mm石墨支撑体的高度是可以调度的。
4、保温罩
    保温罩分为上、中、下保温罩,保温罩是由一个保温筒外面包裹石墨碳毡而成,石墨碳毡的包裹的层数依据情况而定。下保温罩组成了底部的保温系统,它作用是加强锅底保温,前进埚底温度,削减热量丢失。
5、保温盖、导流筒
    保温盖有保温上盖、保温碳毡和保温下盖组成,即两层环状石墨之间夹一层石墨碳毡组成。导流筒主要是未来控制热场的温度梯度和引导氩气流。
6、压环
    石墨压环由几截弧形构成的圆形环状石墨件,放置在盖板与炉壁接触处,是为了防止热量和气体从壁炉与盖板的缝隙间的通过。