MOVCD石墨盘的作用？
发布时间：2023-08-18 10:44:42
做净化处理用的MOVCD石墨盘清洁设备，其特征在于，其包括：气路控制器，真空反响室，加热单元，压力控制器，泵，尾气处理设备；带腐蚀性的气体与载气进入所述气路控制器中，该气路控制器将其按比率混合后通入所述的真空反响室内，所述的加热单元进行加热控温，且所述的压力控制器进行压力控制，该混合气体与石墨盘表面沉积物充沛反响，反响残留物通过泵随载气一同排出真空反响室，进入尾气处理设备进行净化处理。
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