半导体工业用石墨制品材料的处理

半导体工业用石墨制品资料的处理
未运用过的石墨制品资料发热体、保温罩、托架和籽晶夹、石墨坩锅等器材，因在机械加工时有石墨粉附着在石墨制品资料器材的表面或浸入石墨体气孔中，也可能有其他杂质浸人石黑孔隙中，为了避免在运用中对半导体资料引起污染，在运用前必须进行预处理。
一种预处理方法是先将石墨器材在四氯化碳中浸泡数小时，然后用去离子水冲净并烘干，在运用温度下真空煅烧3~4h，再保存起来待用。另二种预处理方法是将石墨器材放在王水里浸泡24h，取出后用去离子水煮沸屡次，首至溶液望中性为正。烘于后连同整套石墨器材装在炉腔里，在真空中（一般10-mmlHg以上）进行高温处理h，其温度应稍高于工作温度，冷却后取出放人枯燥瓶待用。对运用过的行题器材可爱善保管。再运用时，可先用0号金相砂纸擦去表面层，再经去离子水和无水酒精擦净后烘干，即可运用。